Evactron E50 Plasma Decontaminator-Hitachi/JEOL，产品型号：91000-01。

Evactron E50 Plasma Decontaminator-Hitachi/JEOL，描述：

Evactron E50 除污器是紧凑、高性能但简化的等离子清洁器，适用于电子和离子束仪器，如 SEM、TEM 和 FIB。E50 提供高功率清洁以实现很好的分辨率和成像，并改进受污染影响的检测器和探头灵敏度。Evactron E50 等离子自由基源的紧凑设计使其成为适用于 SEM/FIB 腔室、负载锁或样品制备腔室的多功能解决方案。Evactron E50 等离子清洁器可在各种压力下提供快速、有效和强大的清洁，从而实现高质量、无伪影的图像并提高样品分析的效率。

特征：

• 射频功率：75W 峰值，50W 连续

• 使用等离子和紫外线余辉的双重清洁

• 节能射频空心阴极等离子体 (RFHC)

• 高真空下的“爆破"点火

• 可编程功率、清洁时间、循环次数、配方

• 蓝牙安卓平板或有线触摸板编程

• 宽范围压力操作：0.3 Pa/ 2 mTorr 至 80 Pa/ 600 mTorr

• 可选的外部互锁连接

• 兼容 TMP，无需提前排气

• 快速清洁，比上一代 Evactron 型号快 100 倍以上

• 不损坏敏感元件——无溅射蚀刻

• PRS 可以安装在 SEM 室或装载锁上

• 按钮清洁操作

• 等离子点火无需匹配或气体流量调整

• TUV、NRTL、SEMI 和 CE 合规性测试待定

上海牧荣生物科技有限公司

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